En la planta de producción, uno aprende rápido: un desvío de 1°C durante el proceso de secado del fotorresista es suficiente para alterar los límites de las líneas en la superficie del wafer, convirtiendo así un wafer de 300 mm en material desperdiciable. Los intervalos de tiempo para el secado son muy precisos; no hay margen de error. La uniformidad térmica no es algo opcional; es lo que determina si se logra un buen rendimiento o no.
Hemos diseñado nuestras lámparas de calentamiento por infrarrojos para mantener esa uniformidad térmica, turno tras turno.
Lo importante detrás de todo esto Utilizamos emisores de luz NIR de onda corta, que permiten alcanzar rápidamente la temperatura deseada, con un control espectral preciso. De esta manera, se logra una uniformidad en toda la zona de secado de ±0.1°C, además de una repetibilidad en el punto de ajuste de ±0.5°C.
Las partículas no pueden entrar en contacto con los materiales, ya que estos son compatibles con entornos de cuarto limpio, y el haz óptico está completamente protegido. Las lámparas pueden funcionar más de 5,000 horas sin que disminuya su eficiencia en más del 5%. Su tamaño permite su instalación en espacios estándar, y se integran fácilmente en los sistemas de control PLC existentes.
Por qué esto es importante en la litografía y en el embalaje En la litografía, esta repetibilidad se traduce en perfiles de fotorresista consistentes, menos necesidad de re-trabajo y un mejor control de la precisión de los wafer. En el embalaje, el calentamiento rápido y uniforme acorta los ciclos de curado, sin causar estrés en los componentes del wafer.
Además, como la lámpara calienta directamente el material a tratar, no se pierde energía calentando el aire de la cámara. El resultado son procesos estables, intervalos de mantenimiento predecibles y menos paradas imprevistas.
Qué hay que tener en cuenta durante la instalación La configuración adecuada depende del alineamiento óptico y de buenas prácticas de control de interferencias electromagnéticas. Los reflejos accidentales pueden causar puntos calientes, por lo que el blindaje y las barreras protectoras son importantes.
Las lámparas pueden funcionar en cuartos limpios de clase 1-100, pero su rendimiento térmico depende de la geometría de la cámara y del flujo de aire. Proporciónenos los datos de su equipo, y nosotros ajustaremos la configuración adecuadamente.
La calibración de las lámparas es rápida. Una vez que el proceso está establecido, la repetibilidad entre cada ciclo de producción permanece dentro de los límites deseados.