نگهداری از ایمنی هنگام گرم کردن ویفرها در محیط حضور مواد شیمیایی فرار
باید صادق باشیم: گرم کردن ویفرها در خطوط تمیزکاری شیمیایی، کاری بسیار پرخطر است. در این محیط، بخارات قابل اشتعال و منفجره وجود دارد، و تجهیزات گرمایشی نیز درست در میان آنها قرار دارند.
لامپهای مادون قرمز استاندارد برای این کار مناسب نیستند؛ حتی یک جرقه کوچک یا تماس سطح داغ با بخارات شیمیایی، میتواند منجر به فاجعه شود. ما زمان زیادی را صرف یافتن راههایی برای جلوگیری از این اتفاق کردهایم؛ همه چیز به نحوه بستهبندی اجزای تجهیزات بستگی دارد.
راز، در بستهبندی مناسب نهفته است
ما فقط یک درپوش روی لامپ قرار نمیدهیم؛ بلکه اجزای مادون قرمز را در لولههای کوارتز با خلوص بالا قرار داده و آنها را به خوبی بستهبندی میکنیم. این کار مانند یک دیوار فیزیکی بین رشتههای الکتریکی و هوای اطراف آنها عمل میکند. ما از این بستهبندیهای ویژه برای جلوگیری از نفوذ بخارات شیمیایی به داخل تجهیزات استفاده میکنیم. اگر با مواد شیمیایی بسیار خورنده کار میکنید، میتوانیم روکشهای مقاوم شیمیایی روی بدنه تجهیزات اضافه کنیم تا کوارتز در طول زمان آسیب نبیند.
تعادل بین گرما و پایداری
تنظیم دقیق دمای ویفرها کار دشواری است؛ برای این منظور، از فرستندههای مادون قرمز با امواج کوتاه استفاده میکنیم. این فرستندهها به سرعت به سطح ویفر نفوذ میکنند؛ در نتیجه، سایر بخشهای محیط شیمیایی دچار گرمای بیش از حد نمیشوند. این روش باعث میشود دما دقیقتر و قابل پیشبینیتر باشد.
اما مشکلی نیز وجود دارد: این نوع انرژی باعث میشود لامپ بسیار داغ شود. بنابراین باید مطمئن شوید که بدنه تجهیزات دارای جریان هوای کافی یا سیستم خنککننگ مناسبی باشد؛ در غیر این صورت، خطر تغییر شکل بدنه تجهیزات وجود دارد.
کاربرد در شرایط واقعی
ما این گرمکنها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین تجهیزات موجود شوند؛ نیازی نیست کل سیستم را دوباره طراحی کنید تا از آنها استفاده کنید.
ما سیمها را از طریق لولههای ضدانفجار هدایت میکنیم؛ این کار خطر ایجاد جرقه الکتریکی را کاهش میدهد. البته، به دلیل بستهبندی مناسب، رسیدن به دمای حداکثری کمی طولانیتر است؛ اما این یک تعادل ضروری است. در مواجهه با مواد شیمیایی فرار، ایمنی اولویت اصلی است.
کافی است از یک کنترلکننده PID برای کنترل دما استفاده کنید؛ در این صورت میتوانید دما را در محدوده ±۱ درجه سانتیگراد نگه دارید. بسیار ساده!