خشک کردن صفحات سنسورهای MEMS به درستی
خشک کردن صفحات سنسورهای MEMS کاری پیچیده است؛ اگر توزیع حرارت به درستی انجام نشود، کشش سطحی باعث میشود سنسورها آسیب ببینند.
برای جلوگیری از این امر، از عناصر گرمایشی مخصوص نوع مادون قرمز استفاده میکنیم. هدف ساده است: تبخیر فوری مایعات باقیمانده، اما بدون آسیب رساندن به سنسورها.
مشکلات مربوط به توزیع حرارت
نکته مهم این است که دما باید در سراسر صفحه یکنواخت باشد؛ اگر یک نقطه دمای بالاتری داشته باشد، صفحه تغییر شکل خواهد داد.
ما از عناصر گرمایشی با توان بالا استفاده میکنیم تا بتوانند به سرعت حرارت لازم را تولید کنند؛ اما این روش مشکلاتی نیز دارد؛ زیرا توان بالا باعث فشار زیادی بر منابع تأمین انرژی میشود. حتماً مطمئن شوید که سیستم برقی شما میتواند این تغییرات ناگهانی در جریان برق را تحمل کند.
حفظ پاکیزگی
در کارخانههای تولید، آلودگی یک مشکل بزرگ است؛ حتی یک تکه کوچک فلز نیز میتواند کل محصولات را بیارزش کند.
به همین دلیل، فیلامنتهای گرمایشی را در لولههای کوارتز با خلوص بالا قرار میدهیم؛ این کار مانع از خروج گازها و ورود مواد فلزی به ساختارهای MEMS میشود. ما از تنگستن برای ساخت فیلامنتها استفاده میکنیم؛ زیرا این ماده دمای ذوب بالایی دارد و پایدار است. از استفاده از آلیاژهای ارزانقیمت که پس از چند هفته استفاده تغییر شکل میدهند، خودداری میکنیم.
تعادل بین سرعت و فشار
جذاب است که ولتاژ را بالا ببریم تا خشک کردن سریعتر انجام شود؛ اما این کار باعث ایجاد شوک حرارتی میشود. باید تعادل مناسبی بین توان لامپ و سرعت انتقال صفحات پیدا کرد؛ در غیر این صورت، لبههای صفحات آسیب خواهند دید.
یک توصیه نیز این است که قدرت گرمایشی را بیش از حد تنظیم نکنید؛ اگر قدرت گرمایشی بیش از حد باشد، فنهای خنککننده مجبور خواهند بود با حداکثر توان کار کنند تا ساختارهای MEMS آسیب نبینند.