در فرآیندهای تولید، دما صرفاً یک مقدار قابل تنظیم نیست؛ بلکه یک پارامتر مهم است که در هر تغییری احساس میشود. حتی تغییر نیم درجهای در دمای پخت، میتواند باعث تغییراتی در ساختار CDها شود و باعث کاهش کیفیت محصول شود، قبل از اینکه بتوانیم آن را متوجه شویم. عناصر گرمایشی شرکت Oxford Instruments برای مقابله با این مشکلات طراحی شدهاند؛ یعنی گرما را در دقیقاً همان جایی که ویفر به آن نیاز دارد، ارائه میدهند، بدون ایجاد نویز.
موضوع اصلی، ارائه گرما به شکل پایدار و کنترلشده است. این عناصر از امواج مادون قرمز کوتاه یا متوسط برای انتقال انرژی به شکل مؤثر به کوارتز و سایر اجزای درگیر در فرآیند استفاده میکنند. این روش باعث پاسخ سریع و کاهش انرژی تخزینی میشود.
در فرآیند تولید، این امر منجر به یکنواختی دما در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد میشود. هر بخش از ویفر، همان میزان گرما را دریافت میکند. مواد و ساختار این عناصر برای استفاده در محیطهای پاک با استانداردهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ انتخاب شدهاند؛ یعنی بدون تولید ذرات و با میزان گاز خروجی کم. توان، ولتاژ و ابعاد این عناصر نیز با استانداردهای مورد استفاده در ابزارهای مشابه همخوانی دارد؛ همچنین گزینههای اتصال نیز به کاهش نوسانات در نصب کمک میکنند.
این موضوع در فرآیندهای لیتوگرافی و فرآوری فوتورزیست بسیار مهم است؛ زیرا دقت دمای پخت، مشخصکننده ابعاد کلیدی و زوایای سطوح مربوطه است. با استفاده از این عناصر، میتوان عملکرد یکنواختی در فرآیندهای پخت داشت، کارهای تکراری کمتری صورت گیرد و نوسانات ناشی از تغییرات دما نیز کاهش یابد. قابلیت اطمینان این عناصر، باعث عملکرد پایدار ۲۴/۷ میشود؛ در نتیجه، زمان توقف غیرمنتظره کاهش یافته و هزینههای نگهداری نیز کمتر میشود. اتصال مؤثر و کنترل دقیق دما، همچنین باعث کاهش مصرف انرژی میشود، بدون اینکه باعث کاهش راندمان تولید شود.
نصب این عناصر ساده است، اما همچنان باید به شرایط مشخص شده برای ولتاژ و سیستم خنککنندگی توجه کرد؛ همچنین باید از فاصلهها و یکنواختیهای مورد نظر مطمئن شد. باید به طور دورهای دما را کالیبره کرد و از رفتارهایی که منجر به تولید ذرات میشود، اجتناب کرد.
با انجام این کارها، این عناصر گرمایشی مانند یک بخش ثابت و قابل پیشبینی در فرآیند تولید عمل خواهند کرد؛ نه یک متغیر ناشناخته.