جلوی خراب شدن ویفرهایتان توسط لامپهای مادون قرمز را بگیرید!
اگر از دستگاههایی با بار بالا استفاده میکنید، میدانید که چه وضعیت وحشتناکی پیش میآید. لامپ مادون قرمز منفجر میشود؛ این موضوع فقط به معنای توقف کار دستگاه نیست، بلکه باعث به وجود آمدن هرج و مرج کامل میشود. تکههای کوارتز و ذرات ریزی درست روی ویفرهایتان میافتند.
این یک فاجعه است… اما کاملاً قابل جلوگیری است.
ما عناصر مادون قرمز خود را به گونهای طراحی کردهایم که از وقوع چنین آلودگیهایی جلوگیری شود.
چرا این لامپها در واقع شکسته میشوند؟
معمولاً دلیل آن، شوک حرارتی یا نقاط داغ موجود در لامپ است. اگر تراکم انرژی برای ضخامت دیواره لامپ بیش از حد باشد، کوارتز نمیتواند فشار وارد شده را تحمل کند و در نتیجه شکسته میشود.
برای رفع این مشکل، از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این کوارتز دارای ضریب انبساط حرارتی مناسبی است و میتواند در شرایط دمایی بالا نیز سالم بماند.
استفاده از سیستمهای ایمنی
ما فقط به محکم بودن شیشهها اتکا نمیکنیم؛ بلکه از سیستمهای دوگانهای برای حفاظت استفاده میکنیم. ابتدا، یک پوشش محافظ با دمای بالا یا یک پوشش ویژه اضافه میکنیم؛ این پوشش مانند یک بیمه برای لامپ عمل میکند. اگر رشتههای الکتریکی داخل لامپ سوخته شوند، پوشش خارجی تمام تکهها را در خود نگه میدارد؛ در نتیجه ویفرهایتان تمیز باقی میمانند.
همچنین، ما زمان زیادی را صرف طراحی کانکتورها کردهایم؛ اکثر مردم این موضوع را نادیده میگیرند، اما اتصالات نامناسب باعث ایجاد گرمای زیاد در نقاط مرتبط با لامپ میشود. ما از کانکتورهای با دقت بالا استفاده میکنیم تا از ایجاد چنین مشکلاتی جلوگیری شود.
توازن مناسب
مشکل اینجاست که لامپهای مادون قرمز با توان بالا، مقدار زیادی گرما تولید میکنند. اما با استفاده از این پوششهای محافظ، ممکن است کمی تغییر در طیف انتشار نور یا کاهش در انتقال گرما مشاهده شود؛ اما این موضوع در ازای آرامش ذهنی، قابل قبول است. احتمالاً لازم است تنظیمات PID را تغییر دهید یا زمان لازم برای رسیدن به دمای مورد نظر را افزایش دهید.
یک نکته دیگر: اگر ۲۴ ساعته از دستگاه استفاده میکنید، حتماً به فنهای خنککننده توجه کنید. بهترین سیستمهای ایمنی نیز نمیتوانند لامپ را نجات دهند، اگر هوای داخل دستگاه برای کوارتز بیش از حد گرم شود. حتماً جریان هوا را ثابت نگه دارید تا سیستمهای ایمنی بتوانند عملکرد خود را بهتر انجام دهند.