در فرآیند خشک کردن ویفرها، حتی انحراف نیم درجهای در دما نیز میتواند باعث ایجاد اختلالاتی در ابعاد حیاتی ویفرها شود و منجر به ایجاد نقصهایی در سطح ویفرها گردد. بنابراین، نیاز به گرمایی است که دقیقاً مطابق با الزامات فرآیند تولید باشد؛ این امر باید در هر شیفت و هر مجموعه از ویفرها محقق شود. این همان واقعیتی است که لامپهای مادون قرمز مورد استفاده در خشک کردن ویفرهای سیلیکونی بر اساس آن طراحی شدهاند.
موارد مهم از نظر فنی:
ما از فرستندههای مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکنیم؛ این فرستندهها دارای سرعت بالایی در ایجاد گرما و کنترل دقیق طیف انرژی هستند. به این ترتیب، انتقال حرارت به سرعت انجام میشود، بدون اینکه محدودیتهای حرارتی مربوط به فوتورزیست رعایت نشود. در کل منطقه روشن شده، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ همچنین، قابلیت تکرارپذیری این فرآیند نیز از طریق سیستمهای کنترل دمای دقیق در خروجی لامپ تضمین میشود. کل این سیستم سازگار با محیطهای پاکسازی شده از کلاس ۱ تا کلاس ۱۰۰ است؛ همچنین، مواد و ساختارهای مورد استفاده در این سیستم، تولید ذرات را به حداقل میرسانند. در عمل، این دستگاهها بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کردهاند و همچنان پایداری خروجی خود را در حد ۵٪ حفظ کردهاند؛ این نوع پایداری، چیزی است که میتوان به آن اعتماد کرد.
چرا این سیستم در فرآیندهای واقعی کارایی دارد؟
در فرآیندهای خشک کردن ویفرها، این لامپها باعث خشک شدن سریعتر ویفرها میشوند؛ در عین حال، از بروز مشکلاتی مانند فروپاشی الگوهای روی ویفرها جلوگیری میکنند. در فرآیندهای لیتوگرافی نیز، این لامپها امکان کنترل دقیق دما را فراهم میکنند؛ در نتیجه، کنترل عرض خطوط روی ویفرها بهتر میشود و نیاز به تعمیرات کاهش مییابد. مزایای این سیستم عبارتند از کاهش تعداد محصولات باکیفیت پایین، کاهش مصرف انرژی به دلیل کارایی بالای انتقال انرژی، و کاهش زمان توقف دستگاه برای تعمیرات. طراحی این سیستم مطابق با استانداردهای بینالمللی تجهیزات نیمههادی است؛ بنابراین، میتواند جایگزینی مناسب برای سیستمهای موجود باشد.
چه چیزهایی را باید در نظر بگیرید؟
برای نصب این دستگاه، باید به فاصلههای حرارتی و جریان هوا توجه کرد؛ لامپ باید در فاصله مشخصی نصب شود و همچنین باید در مسیر مناسبی نسبت به ویفر قرار گیرد؛ در غیر این صورت، یکنواختی دما از بین خواهد رفت. همچنین، برای جلوگیری از اختلالات الکترومغناطیسی در نزدیکی اسکنرها و سایر دستگاهها، ممکن است نیاز به استفاده از سپرهای حفاظتی یا تنظیمات خاصی باشد. پیشنهاد میشود یک آزمایش کوتاه انجام شود تا پروفایلهای دمایی مشخص شوند؛ سپس مقادیر مربوط به دما تثبیت شوند.