כיצד להחליף מנורת חימום RTP

על המשטח, זמינות RTP ושליטה בטמפרטורה אינן אופציונליות. אם הנורה זזה או שהמחמם אינו שומר על אחידות, תראה זאת מיד — אפיית photoresist רכה שמחמיצה את...