फैब फ्लोर पर, उत्पादन की गुणवत्ता डिग्रियों एवं सेकंडों में ही निर्धारित होती है। बेकिंग प्रक्रिया में थोड़ा सा भी विचलन होने से, वेफर पर कुछ हिस्से ठंडे रह जाते हैं, और इससे फोटोरेसिस्ट की गुणवत्ता प्रभावित हो जाती है। ऐसी स्थिति में लाइन-विड्थ का नियंत्रण मुश्किल हो जाता है, एवं दोषों की संख्या बढ़ जाती है।
इसी कारण TEL हीटर लैंप, तापमान नियंत्रण को सही स्तर पर रखते हैं – अर्थात् प्रक्रिया की आवश्यक सीमाओं के भीतर ही।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
ये लैंप, शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तरंगों के साथ क्वार्ट्ज की स्थिरता का उपयोग करते हैं; इससे तेज़ गति से तापमान नियंत्रण संभव हो जाता है। बेकिंग प्रक्रिया के दौरान वेफर का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है। यह बहुत ही महत्वपूर्ण है, क्योंकि फोटोरेसिस्ट को नरम/कठोर रूप देने, एवं सफाई के बाद वेफर को सुखाने की प्रक्रियाओं में यही तापमान महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है।
इस डिज़ाइन के कारण कणों का निर्माण कम हो जाता है, एवं गैसों का निकास भी नियंत्रित रहता है। इससे क्लीनरूम क्लास 1–100 में उत्पादन प्रक्रिया बेहतर तरीके से चलती है। 5,000+ घंटों तक उत्पादन प्रक्रिया स्थिर रहती है, एवं तापमान में 5% से भी कम विचलन होता है। कम विचलन का मतलब है कि कम कैलिब्रेशन की आवश्यकता होती है, एवं प्रक्रिया में अधिक लचीलापन रहता है।
लिथोग्राफी में इसका क्या महत्व है?
लिथोग्राफी में, “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया से फोटोरेसिस्ट की संरचना निर्धारित होती है; जबकि “हार्ड बेक” प्रक्रिया से यह संरचना स्थिर रहती है। TEL इन्फ्रारेड तकनीक के कारण वेफर तेज़ी से गर्म हो जाता है – कोई विलंब नहीं होता, एवं तापमान नियंत्रण भी बेहतर रहता है।
सफाई के बाद वेफर को सुखाने की प्रक्रिया भी अब अनुमानों पर नहीं, बल्कि नियंत्रित तरीके से ही होती है। इससे पुनः कार्य करने की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं उत्पादन प्रक्रिया अधिक पूर्वानुमेय रहती है। चूँकि लैंप, चेंबर को गर्म करने के बजाय सीधे वेफर को ही गर्म करता है, इसलिए ऊर्जा की बचत होती है।
जो बातें इस प्रक्रिया को सफल बनाती हैं…
ये लैंप TEL प्लेटफॉर्मों के लिए ही डिज़ाइन किए गए हैं, एवं इनका एकीकरण भी आसान है। लेकिन लैंप की स्थिति एवं रिफ्लेक्टर की स्थिति ही प्रक्रिया की सफलता का निर्धारण करती हैं। वेफर के आकार के अनुसार लैंप की स्थिति को सही करने में थोड़ा समय लगता है, एवं उत्पादों के विभिन्न हिस्सों में तापमान संतुलन भी आवश्यक है। लैंप को नियमित रूप से ही बदलना आवश्यक है – अन्यथा उत्पादन प्रक्रिया में विचलन हो जाएगा।