फैब फ्लोर पर, बर्न-इन एवं फोटोरेसिस्ट बेकिंग के दौरान होने वाले तापीय परिवर्तन, उत्पादन दर को केवल प्रभावित ही नहीं करते, बल्कि उसे पूरी तरह नष्ट भी कर देते हैं। वेफर पर 0.5°C की असमानता, फोटोरेसिस्ट में तापीय असमानताओं का कारण बनती है; ऐसी असमानताएँ एक्सपोजर एवं डेवलपमेंट के बाद आयामी त्रुटियों में बदल जाती हैं। इसलिए, ऐसी स्थितियों में तापमान को एक वास्तविक प्रक्रिया-पैरामीटर के रूप में ही हैंडल करना आवश्यक है… न कि एक अनियंत्रित चर के रूप में।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हमने अपने वेफर बर्न-इन टेस्ट हीटिंग लैंपों में शॉर्ट-वेव NIR क्वार्ट्ज एमिटरों का उपयोग किया है… क्योंकि ये ऊर्जा को तेज़ एवं सीधे रूप से ही प्रदान करते हैं, एवं स्पेक्ट्रल नियंत्रण भी बेहतरीन होता है। इसके परिणामस्वरूप वेफर पर तापमान स्थिर रहता है… ±0.1°C के भीतर… एवं बेकिंग प्रक्रियाएँ भी नियमित रूप से ही होती हैं। यह सिस्टम क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी उपयोग के लिए उपयुक्त है… क्योंकि इसमें कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों का उपयोग किया गया है… एवं हीटिंग पॉइंट पर कोई कण भी नहीं बनते। 5,000+ घंटों तक इसका आउटपुट स्थिर रहता है… एवं इंटेंसिटी में 5% से भी कम परिवर्तन होता है… इसलिए आपका थर्मल बजट हर बार स्थिर ही रहता है।
यह आपकी वास्तविक आवश्यकताओं के अनुरूप क्यों है?
बर्न-इन एवं प्रोब टेस्टिंग में, डाय को वास्तविक तापीय तनाव प्राप्त होना आवश्यक है… बिना किसी पैकेज-जनित विकृतियों के। लिथोग्राफी में, फोटोरेसिस्ट को वेफर के हर हिस्से में समान तापमान ही आवश्यक है। हमारे लैंप ऐसी सटीकता प्रदान करते हैं… साथ ही ऊर्जा खपत भी कम रहती है… एवं रखरखाव की आवश्यकता भी कम होती है। इससे आपको बेहतर नियंत्रण मिलता है… कम रीवर्किंग की आवश्यकता होती है… एवं आप अपनी उत्पादन प्रक्रियाओं को ठीक से ही योजनाबद्ध कर सकते हैं… रात 2 बजे तापमान संबंधी समस्याओं से जूझने की आवश्यकता ही नहीं है।
किन बातों पर ध्यान देना आवश्यक है?
ये लैंप छोटे होते हैं… लेकिन इनकी थर्मल घनत्व बहुत अधिक होती है। इनकी स्थापना हेतु पड़ोसी मॉड्यूलों से उचित थर्मल इंसुलेशन आवश्यक है… अन्यथा आसपास के पॉलिमर एवं केबलों को नुकसान पहुँच सकता है। ये लैंप मानक टूल फुटप्रिंट्स में ही फिट हो जाते हैं… लेकिन एमिटर एवं वेफर के बीच का संरेखण बहुत ही सटीक होना आवश्यक है… इसे एक बार ही सेट करें… इसका दस्तावेजीकरण करें… एवं उसे स्थिर ही रखें।