Smettete di trasformare i carrelli utilizzati nelle sale pulite in “forni”
La maggior parte degli elementi riscaldanti emette calore in tutte le direzioni. In una sala pulita per semiconduttori, questo rappresenta un problema serio. Quando si utilizzano questi vecchi sistemi di riscaldamento, le pareti interne degli apparecchi assorbono tutta quell’energia inutile.
Il risultato? Un guscio esterno estremamente caldo al tatto, e componenti sensibili che si deformano a causa dell’espansione termica. È un disastro.
Portare il calore esattamente dove è necessario
Per risolvere questo problema, utilizziamo tecnologie a infrarossi direzionali. Pensatelo meno come un riscaldatore tradizionale e più come una torcia elettrica: invece di riscaldare l’aria o lo scafo metallico, le lampade a infrarossi inviano radiazioni elettromagnetiche direttamente sul pezzo da lavorare. L’energia viene trasmessa soltanto quando colpisce una superficie in grado di assorbire tali lunghezze d’onda.
Utilizzando lampade dotate di rivestimenti riflettenti o contenitori in quarzo focalizzati, possiamo dirigere il calore esattamente verso il pezzo da lavorare. In questo modo si evita l’effetto “forno” all’interno del carrello. I wafer o i substrati vengono riscaldati correttamente, ma lo scafo esterno rimane fresco.
Proteggere il personale
Ridurre il calore alle pareti degli apparecchi non serve solo a risparmiare denaro sulla bolletta energetica: serve anche a proteggere le persone che utilizzano le macchine. Quando le pareti rimangono fresche, non c’è rischio che qualcuno subisca scottature mentre carica i componenti o effettua controlli di manutenzione.
Tuttavia, è importante scegliere la giusta potenza delle lampade. Le lampade a infrarossi ad alta densità riscaldano rapidamente il pezzo da lavorare… ma se si utilizza troppa energia senza protezioni adeguate, il calore potrà comunque diffondersi nello scafo dell’apparecchio. Di solito consiglio di utilizzare lampade dotate di riflettori in oro o in alluminio lucidato, per mantenere il fascio di luce ben concentrato.
I compromessi
Passare a sistemi di riscaldamento direzionale è solitamente semplice, ma cambia il modo in cui funzionano le macchine. Poiché il calore è molto concentrato, potrebbero verificarsi “zone fredde” se il pezzo da lavorare non è posizionato esattamente dove dovrebbe essere. La posizione del pezzo deve essere precisa: anche un piccolo errore può causare un riscaldamento disomogeneo.