Smettete di riscaldare le pareti della macchina (e iniziate invece a riscaldare i wafer stessi). Avete mai notato quanto possano diventare calde le pareti di una camera per semiconduttori? È un problema molto comune e fastidioso. La maggior parte dei sistemi di riscaldamento distribuisce l’energia in tutte le direzioni, il che significa che si spreca molta energia per riscaldare lo chassis della macchina, invece che il wafer stesso. È uno spreco inutile.
Ecco perché utilizziamo sistemi di riscaldamento a infrarossi direzionali.
Come funziona davvero
Pensateci come alla differenza tra una lampadina e una torcia elettrica: invece di diffondere il calore ovunque, le lampade a infrarossi direzionali concentrano il fascio di luce su un punto specifico. Possiamo controllare l’angolo di irradiazione, così che l’energia vada esattamente dove è necessaria.
Il risultato? I vostri strumenti costosi non funzionano più come “spugne” che assorbono calore inutilmente. Ottenete la temperatura desiderata sul pezzo da lavorare, mentre la struttura della macchina rimane fresca.
Sicurezza e bolletta elettrica
Quando le pareti non sono troppo calde, tutti possono respirare più tranquillamente. I tecnici possono effettuare manutenzioni o controlli senza rischi di ustioni.
Inoltre, c’è anche il vantaggio economico: smettete di spendere denaro per riscaldare una struttura metallica che non ha bisogno di essere riscaldata.
Tuttavia, c’è un aspetto da considerare: poiché concentriamo tutta quell’energia in un unico punto, il calore lì presente è molto intenso. Se il substrato su cui lavorate è particolarmente sensibile al calore, sarà necessario regolare la distanza tra la lampada e il substrato, nonché la frequenza dei impulsi di riscaldamento. Non volete certo creare dei punti caldi indesiderati.
Come installarle
Abbiamo progettato queste lampade in modo che possano essere installate facilmente. Non è necessario smontare l’intera camera o modificare la sua struttura per poterle installare.
Ma c’è una cosa importante da ricordare: l’allineamento è fondamentale. Se la lampada si sposta anche di pochi gradi, il calore inizia a diffondersi nuovamente nelle pareti. Per mantenere tutto sotto controllo, è necessario utilizzare un controllore PID preciso. In questo modo, potrete evitare problemi legati al riscaldamento.