Nelle sale di produzione, si impara in fretta: anche un cambiamento di temperatura di 1°C durante il processo di essiccazione del fotoresto è sufficiente per modificare le dimensioni dei circuiti presenti sul wafer, trasformandolo così in un prodotto non utilizzabile. I tempi di essiccazione sono molto precisi: non c’è spazio per errori. L’uniformità termica non è semplicemente un fattore importante, ma rappresenta davvero il criterio che determina se il prodotto sarà valido o meno.
Abbiamo progettato le nostre lampade a riscaldamento a infrarossi per mantenere costante questa uniformità termica, shift dopo shift.
Ciò che è importante sotto il profilo tecnico
Utilizziamo emettitori a onde corte, che permettono un riscaldamento rapido e un controllo preciso dello spettro luminoso. In questo modo, si raggiunge rapidamente la temperatura desiderata, senza superarla. Si ottiene quindi un’uniformità termica su tutto il wafer entro ±0,1°C, con una ripetibilità del valore di regolazione di ±0,5°C.
I particolari inquinanti rimangono fuori, poiché i materiali utilizzati sono compatibili con ambienti sterili e il percorso ottico è completamente chiuso. Le lampade possono funzionare per oltre 5.000 ore, con una diminuzione della potenza di meno del 5%. Le dimensioni delle lampade permettono di inserirle nei soliti spazi destinati agli strumenti, e possono essere integrate facilmente nei sistemi di controllo PLC esistenti.
Perché questo è utile nella litografia e nell’imballaggio
Nella litografia, questa ripetibilità permette di ottenere profili uniformi del fotoresto, riducendo il numero di lavorazioni di correzione e mantenendo stabile il controllo delle dimensioni dei circuiti. Nell’imballaggio, il riscaldamento rapido ed uniforme riduce i tempi di completamento del processo, senza causare stress sui materiali utilizzati.
Inoltre, poiché le lampade riscaldano direttamente il materiale da trattare, non si spreca energia nel riscaldare l’aria presente nella camera. Il risultato è un processo più stabile, intervalli di manutenzione prevedibili e minori interruzioni non pianificate.
Cosa bisogna considerare durante l’installazione
L’installazione richiede una corretta allineamento ottico e una gestione efficiente degli effetti EMI/EMC. I riflessi indesiderati possono causare punti caldi, quindi è necessario utilizzare schermature appropriate. Le lampade possono funzionare in ambienti sterili di classe 1–100, ma le prestazioni termiche dipendono dalla geometria della camera e dal flusso d’aria. Forniteci le specifiche del vostro strumento, e noi regoleremo la configurazione di conseguenza.
La qualificazione delle lampade avviene rapidamente. Una volta che il processo è configurato correttamente, la ripetibilità tra una serie di cicli di produzione rimane costante.