RTPヒーターランプの交換方法

Role フロア上でのRTPの稼働率と温度制御は選択肢ではなく必須である。ランプがドリフトしたり、ヒーターが均一性を維持できなければ、すぐに結果に現れる。例えば、フォトレジストのソフトベークが規格を外す、ハードベークで線幅が変動する、あるいはパッケージのキュアでボイドが閉じ込められるなどだ。熱予算...