ソーラーセルウエハ乾燥ランプ

ファブフロアにおけるウェットウエハは許容できない負債です。残留水分は露光後のパターン崩壊を引き起こし、わずかに異なる焼成プロファイルは重要な寸法のドリフトを引き起こします。これが、太陽電池ウエハの乾燥ランプが存在する理由です：ウエハの乾燥、フォトレジストのソフトベークおよびハードベーク、パッケージ...