省エネ型ウェーハヒーター

揮発性化学物質の近くでウェーハを加熱する際に、安全を守る方法 正直言って、化学洗浄ラインでウェーハを加熱するのは非常に危険な作業です。周囲には可燃性または爆発性のある蒸気が漂っており、加熱装置もその真ん中にあるのです。 一般的な赤外線ランプでは、このような環境には適していません。わずかな火花や、高...