バスルームのヒーターを安全で乾燥した状態に保つ方法 もし赤外線ヒーターをバスルームに設置するなら、それはまるで湿気や水蒸気と戦うようなものです。注意しなければ、大変なことになります。だからこそ、私たちはこのようなシステムをIP44規格に従って作っているのです。 簡単に言えば、これは、どの方向から水...

機械の壁を加熱するのはやめて、ウェーハを加熱しましょう 半導体製造装置の壁がどれほど高温になるか、気づいたことはありますか？これは非常によくある問題です。一般的な加熱方式では、エネルギーがあらゆる方向に放出されるため、実際にウェーハを加熱する代わりに、装置自体のケースが過度に加熱されてしまいます。...

目を傷つけることなく、バスルームを暖かく保つ方法 赤外線式のバスルーム用ランプを設計する際、私たちが解決しようとしているのは、濡れた部屋で十分な暖かさを得つつ、相手がまるで太陽の光を直視しているような不快感を感じないようにするという難しい問題です。 これはバランスを取る必要がある作業です。暖かさは...

冷えた更衣室をすばやく温める方法 水泳の後に更衣室やスパに入ったと想像してみてください。とても寒いですよね。20分も待ってエアコンが部屋全体を温めるのを待つのは嫌ですよね。今すぐ暖かくなりたいのです。 そんな時に役立つのが短波赤外線です。部屋全体を温めるのではなく、この装置は直接肌や周囲の表面に熱...

ファブの現場では、素早く学ぶ必要があります。フォトレジストを焼成する際に1℃のずれがあるだけで、回路線幅が変わり、300mmウェーハが廃棄処分になってしまいます。ソフトベイクとハードベイクの範囲は非常に狭く、余裕はありません。熱の均一性は単なる望ましい条件ではなく、歩留まりを左右する重要な要素です...

ファブ内では、バーンイン処理やフォトレジストの焼成時に生じる温度変動は、単に歩留まりを低下させるだけでなく、完全に歩留まりを失わせてしまいます。ウェーハ全体で0.5℃の温度不均一性があると、その勾配がフォトレジストに直接影響を与え、露光・現像後に寸法誤差につながります。したがって、熱を単なるランダ...

ファブ内では、ソフトベイクやハードベイクの際に生じる熱変動は、単に線幅の問題だけにとどまりません。このような熱変動は、製品の歩留まりや再現性を徐々に低下させてしまいます。オーブンがウェーハ全体にわたって一定の温度を維持できない場合、フォトレジストの状態が不安定になり、エッチングの精度も悪化します。...