化学工場で部品を乾燥させる際には、まるで火遊びをしているようなものです。あちこちに揮発性の高い洗浄剤があるため、わずかな火花や高温の表面が何かに触れるだけで、仕事が大惨事に変わってしまう可能性があります。そのため、私たちは単にランプを箱の中に入れるだけではなく、IR加熱ランプをケースに封じ込めて、...

カーボンファイバーIRを使って、よりスマートな製造プロセスを実現しましょう。 もし近代的な製造ラインを構築しようとしているのであれば、従来の加熱方式ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。長時間かかって温度が上がるようなヒーターを使っては、データ駆動型の生産プロセスを実現することはできま...

無駄な熱の浪費をやめましょう 半導体製造工場において、無駄に消費される1ワットものエネルギーは、実質的にはお金の無駄遣いに他なりません。多くの人は気づかないかもしれませんが、ヒーターから放出される赤外線エネルギーの多くは、単にチャンバーの壁に当たって失われてしまいます。これは明らかな無駄です。 そ...

素晴らしいランプを安全に守るために：クォーツシールドの真実 半導体の乾燥処理について話しましょう。私たちの多くは、より効率的でクリーンな方法として赤外線を利用しています。有害な鉛が含まれず、炭素排出量も少ないです。また、数枚のウェーハを乾燥させるためだけに建物全体を加熱しようとする古式の対流式オー...

高い基準を満たしつつ、予算を超えないようにすることが大切です。工場の稼働停止は、非常に厄介な問題です。アメリカや日本の有名メーカー製の部品と同等の品質を持つヒーティング部品が必要です。しかし、その価格はかなり高いです。 私たちが開発したヒーティングソリューションも、同じく高い品質と信頼性を誇ってい...

Role ファブフロアでは、乾燥に消費するワットはすべて、プロセスマージンに使えないワットである。従来型のオーブンやホットプレートは、熱予算を超過しがちであり、リソグラフィに必要な±0.1℃の均一性を追求する過程でエネルギーを浪費している。乾燥は迅速でクリーンかつ再現性があり、かつ光熱費が跳ね上が...

ファブフロアにおいて、温度は単なるパラメータではない。温度こそがプロセスそのものである。 ベイク温度のドリフトはフォトレジストの流れを変え、クリティカルディメンションをずらす。ウェハー乾燥時のホットスポットはマイクロスキンを形成し、表面を粒子トラップに変えてしまう。パッケージング工程では、均一でな...