自動ウェーハ乾燥ヒーター

Fabフロアでは、フォトレジスト処理および後工程の洗浄乾燥において、ミスの余地はほとんどない。ナノメートルレベルの許容差の話である。焼成温度がずれる、乾燥プロファイルが均一でない、加熱中に一つでも異物が混入すれば、多数のウェーハを失うことになる。 これらの変数を排除するために、自動ウェーハ乾燥ヒー...