グローブボックス用赤外線ヒーター素子

IRランプによってウェーハが破壊されるのを防ぎましょう。 高負荷のグローブボックスを使用している場合、その恐ろしい状況はご存知でしょう。IRランプが破損すると、単に装置が停止するだけでなく、大変な混乱に陥ります。石英の破片や微細な粒子がウェーハの上に降り注ぎます。これは災害です。しかし、これは完全...