半導体装置の内部を加熱しつつ、装置自体が壊れないようにするにはどうすればいいのでしょうか？ 一度、半導体装置の内部を加熱しようとしたら、思わず装置全体がオーブンのようになってしまったという経験はありませんか？これは典型的なエンジニアリング上の悩みです。 問題は、一般的な対流式ヒーターでは空気だけが...

ライン上で、300mmウェーハがベイクステーションに搬送されます。フォトレジストは、数秒以内に表面全体が所定の温度に達する必要があります。このタイミングを逃すと、CDの精度が悪化し、結果として歩留まりが低下します。 内部で重要なのは何か 私たちは、高速で直接的なエネルギー伝達が可能な短波長のNIR...