ライン上で、300mmウェーハがベイクステーションに搬送されます。フォトレジストは、数秒以内に表面全体が所定の温度に達する必要があります。このタイミングを逃すと、CDの精度が悪化し、結果として歩留まりが低下します。
内部で重要なのは何か 私たちは、高速で直接的なエネルギー伝達が可能な短波長のNIR光源を使ってクリーンルーム用の赤外線ヒーターを開発しました。閉ループ制御により、温度が±0.1°Cの範囲内に保たれます。これにより、ウェーハ全体の均一性が確保され、データログから直接その値を読み取ることができます。
石英製のケースやセラミック製の本体は、クラス1～100のクリーンルーム向けに設計されています。ガス放出が少なく、粒子の発生も抑えられます。出力密度はプロセスの要件に合わせて調整されているため、ソフトベイクでもハードベイクでも安定した性能が得られます。
なぜこれがリソグラフィーやウェーハ処理に役立つのか リソグラフィーやウェーハ処理において、ベイク工程では多くのエネルギーが消費されます。再現性の高い温度制御により、ライン間やロット間のばらつきが減少します。その結果、不良品が減り、CDの均一性が保たれます。
ヒーターは迅速に設定温度に到達し、振動することなくその温度を維持します。そのため、エネルギー消費量も削減されます。また、24時間365日の稼働に耐えられる信頼性の高い設計になっており、メンテナンスの回数も最小限に抑えられます。
設置する前に準備すべきこと これらのヒーターは既存のベイクモジュールに簡単に組み込むことができますが、チャンバーの熱容量や取り付け構造に合わせる必要があります。インターフェースの設計を早い段階で行い、隙間や位置決め、温度センサーの配置などを適切に行うことが重要です。
使用する機器に合った電圧やコネクタの種類を選定し、具体的なプロセスに適したクリーンルームの分類基準も確認してください。