スマートファブで適切な熱処理を実現するには スマートファブを構築する際には、すべてが予測可能である必要があります。単に「熱が一定に保たれることを願う」だけでは不十分です。部品がラインを通過するたびに、常に同じ熱量が得られる必要があります。 そこで役立つのが、二重管構造の金メッキランプです。これが最...

クラス100のクリーンルームで、汚染を防ぎながら加熱を行うにはどうすればよいのか？ 実際、クラス100のクリーンルームを常に清潔に保つのは非常に難しいことです。目に見えない微小な粒子と絶えず戦わなければなりません。問題は、一般的な加熱要素はこのような状況には適していないということです。加熱されると...

カーボンファイバーIRを使って、よりスマートな製造プロセスを実現しましょう。 もし近代的な製造ラインを構築しようとしているのであれば、従来の加熱方式ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。長時間かかって温度が上がるようなヒーターを使っては、データ駆動型の生産プロセスを実現することはできま...

素晴らしいランプを安全に守るために：クォーツシールドの真実 半導体の乾燥処理について話しましょう。私たちの多くは、より効率的でクリーンな方法として赤外線を利用しています。有害な鉛が含まれず、炭素排出量も少ないです。また、数枚のウェーハを乾燥させるためだけに建物全体を加熱しようとする古式の対流式オー...

不良なランプのせいで、バイオセンサーの生産が台無しになってはいけません。 バイオセンサーを製造する際には、温度管理が非常に重要です。IRアレイ内でわずかな電気的な不具合や絶縁不良があるだけで、センサーの大量破壊や、最悪の場合は制御ボードの損傷につながります。これは誰も望まない事態です。 そのため、...

悪夢を止める：IRランプの破損を防ぐ方法 半導体製造ラインで、高負荷状態下でIRランプが破損する経験をしたことがある人なら、それがどれほど大変なことかご存知でしょう。単にランプが点灯しなくなるだけではありません。石英の破片や化学物質がウェーハに降り注ぎ、生産効率が低下してしまいます。これは誰もが避...

半導体装置の内部を加熱しつつ、装置自体が壊れないようにするにはどうすればいいのでしょうか？ 一度、半導体装置の内部を加熱しようとしたら、思わず装置全体がオーブンのようになってしまったという経験はありませんか？これは典型的なエンジニアリング上の悩みです。 問題は、一般的な対流式ヒーターでは空気だけが...

なぜ私たちはIR硬化処理においてオゾンの使用をやめたのか 半導体のクリーンルームで働いたことがある人なら、その厳しさはよくわかるでしょう。すべてが完全に清潔でなければなりません。わずかな化学物質の汚染があれば、作業した製品は全てダメになってしまいます。 問題は、一般的な短波長のIRランプは、放射さ...

はじめに ニコン製ステッパー用のランプが必要ですよね。元のものと同じ性能を発揮しながら、高額な代金を支払わずに済むようなランプですよね？私たちにはそのニーズがよくわかります。 私たちは、業務用の赤外線ハロゲンランプを開発しました。これは、元のランプの代わりとして使えるように設計されています。半導体...

製造現場では、温度や時間が製品の品質を左右します。焼成時の温度がわずかにずれただけでも、ウェハ上に低温部分ができ、フォトレジストの特性が崩れてしまいます。そうなると、線幅の制御が困難になり、不良率も上昇してしまいます。 そのため、TELヒーターランプは、適切な温度を維持することができます。つまり、...

ファブの現場では、素早く学ぶ必要があります。フォトレジストを焼成する際に1℃のずれがあるだけで、回路線幅が変わり、300mmウェーハが廃棄処分になってしまいます。ソフトベイクとハードベイクの範囲は非常に狭く、余裕はありません。熱の均一性は単なる望ましい条件ではなく、歩留まりを左右する重要な要素です...

ファブ内では、バーンイン処理やフォトレジストの焼成時に生じる温度変動は、単に歩留まりを低下させるだけでなく、完全に歩留まりを失わせてしまいます。ウェーハ全体で0.5℃の温度不均一性があると、その勾配がフォトレジストに直接影響を与え、露光・現像後に寸法誤差につながります。したがって、熱を単なるランダ...

ウェハーの乾燥工程においては、わずか0.5度のずれだけで、重要な寸法のバイアスが生じ、レジストに欠陥が発生する可能性があります。そのため、工程カードで指定された条件に合致するような熱を、シフトごと、ロットごとに正確に供給する必要があります。これが、シリコンウェハー用の赤外線ランプが設計される際の基...

ライン上の乾燥の重要性 触媒層は、推測の余地を残さない乾燥が必要です。焼きが不十分だと溶剤を閉じ込め、剥離が発生します。焼きすぎると、活性表面積が燃焼します。どちらにしても、材料を無駄にし、セルを廃棄することになります。我々は、半導体基準で温度制御と清浄度を実現する燃料電池触媒乾燥ランプを開発しま...

ファブフロアにおけるウェットウエハは許容できない負債です。残留水分は露光後のパターン崩壊を引き起こし、わずかに異なる焼成プロファイルは重要な寸法のドリフトを引き起こします。これが、太陽電池ウエハの乾燥ランプが存在する理由です：ウエハの乾燥、フォトレジストのソフトベークおよびハードベーク、パッケージ...

ファブフロアでは、フォトレジストのベーク中に0.5度のわずかな変動があればライン幅に影響し、多量のスクラップが発生する。ドリフトに対するゼロトレランスはスローガンではなく、歩留まりを90％台後半に保つための日々の厳格な管理である。 技術的に重要なポイント 当社は急速熱処理用に設計されたRTPランプ...

Role フロア上でのRTPの稼働率と温度制御は選択肢ではなく必須である。ランプがドリフトしたり、ヒーターが均一性を維持できなければ、すぐに結果に現れる。例えば、フォトレジストのソフトベークが規格を外す、ハードベークで線幅が変動する、あるいはパッケージのキュアでボイドが閉じ込められるなどだ。熱予算...