露光後ベイク PEB ヒーター

リソグラフィー工程において、PEB時の温度変動は警告灯としては表れません。代わりに、ウェーハの線幅が不安定になったり、ドーズマージンが減少したり、後から初めて問題が発見されることになります。このため、私たちは露光後の加熱装置を開発しました。これにより、そのような不確実性を排除できます。なぜなら、フ...