もうオーブンを待つのはやめましょう：なぜIR加熱が強制送風より優れているのか 半導体製造に携わったことがある人なら、その「待つ」という時間の無駄さをよく知っているでしょう。特に、ウェハーを加熱したり硬化させる際に起こる、何もできずにただ待つという状況は本当に苦痛です。 業界ではこれを「熱的慣性」と...

MEMSウェーハの適切な乾燥方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるのは、実に繊細な作業です。もし加熱の分布が適切でなければ、表面張力の影響でセンサーの膜が傷ついてしまいます。 このような事態を防ぐために、私たちは特殊な赤外線ヒーターを使用します。目的は単純です——残っている液体を瞬時に蒸発さ...

熱を無駄にしないで：なぜ金コーティングの反射板が重要なのか スマートセンサーのパッケージングに関わったことがある人なら、ウェーハを所定の温度まで加熱するのがどれほど難しいかご存知でしょう。ほとんどの赤外線ランプは、基本的には電球のようなもので、エネルギーをあらゆる方向に放出します。つまり、支払った...

はじめに 化学的な洗浄処理を行う環境で水素センサーを作成してみたことはありますか？そこは可燃性の高い危険な場所であり、通常の加熱要素では対応できません。そこで私たちは、安全を最優先に考えて、別の方法を考案しました。それが、必要な場所に正確に熱を与えることができる赤外線ヒーターです。 電力仕様と物理...