IRランプによってウェーハが破壊されるのを防ぎましょう。 高負荷のグローブボックスを使用している場合、その恐ろしい状況はご存知でしょう。IRランプが破損すると、単に装置が停止するだけでなく、大変な混乱に陥ります。石英の破片や微細な粒子がウェーハの上に降り注ぎます。これは災害です。しかし、これは完全...

冷えた更衣室をすばやく温める方法 水泳の後に更衣室やスパに入ったと想像してみてください。とても寒いですよね。20分も待ってエアコンが部屋全体を温めるのを待つのは嫌ですよね。今すぐ暖かくなりたいのです。 そんな時に役立つのが短波赤外線です。部屋全体を温めるのではなく、この装置は直接肌や周囲の表面に熱...

現場では、温度というのは単なる設定値ではありません。それは、シフトがあるたびに感じられるプロセス上の要素なのです。ソフトベイクやハードベイク時に半度程度の誤差が生じるだけで、CDの位置が変わったり、レジストの形状が乱れたりして、結果として歩留まりが規格から外れてしまいます。オックスフォード・インス...