はじめに
ニコン製ステッパー用のランプが必要ですよね。元のものと同じ性能を発揮しながら、高額な代金を支払わずに済むようなランプですよね？私たちにはそのニーズがよくわかります。
私たちは、業務用の赤外線ハロゲンランプを開発しました。これは、元のランプの代わりとして使えるように設計されています。半導体リソグラフィーの過酷な環境にも耐えられるほど頑丈で、出力や信頼性も優れています。世界基準の規格を満たしつつ、コスト面でも優れています。
出力とサイズ：シンプルに
このランプは、特に熱に関して、元のランプと同等の性能を発揮するように設計されています。必要な熱出力を正確に実現しながら、コンパクトなサイズを実現しています。
つまり、素早く加熱されます。温度の安定性が重要な工程において、この迅速な反応によって、すべてがスムーズに動作します。また、高電圧にも対応しているため、ステッパーの電力要求にも問題なく対応できます。
構造とその重要性
このランプは、頑丈な石英製のケースで覆われています。このケースは、繰り返しのオン/オフ操作にも耐えられ、過酷な使用条件下でも性能が低下しません。
内部では、ハロゲン灯が重要な役割を果たします。フィラメントを清潔に保つことで、ランプの寿命全体を通じて安定した光出力を維持できます。標準的な電球が黒ずんでしまう心配もありません。
また、R7sベースを採用している点も重要です。これにより、振動や熱膨張にも耐えられる安全で高い電流供給が可能になります。
半導体工場での使用
このランプは、半導体工場の厳しい環境に最適化されています。投影アライメントシステムが正常に動作するために必要な安定した赤外線熱を提供します。
そして何よりも良いのは、完全に元のランプの代わりとして使える点です。元のランプと同じように取り付けるだけで済み、その結果、マシンの停止時間が減少します。
ただし、このような高い出力密度には代償があります。熱が強いため、冷却システムがしっかりしていることが不可欠です。冷却システムが機能しなければ、ランプや光学部品が損傷する危険があります。私たちは、規格を満たす信頼性の高いヒーターを提供します。残りは冷却システム次第です。