ファブフロアでは、フォトレジストのベーク中に0.5度のわずかな変動があればライン幅に影響し、多量のスクラップが発生する。ドリフトに対するゼロトレランスはスローガンではなく、歩留まりを90％台後半に保つための日々の厳格な管理である。 技術的に重要なポイント 当社は急速熱処理用に設計されたRTPランプ...

Role フロア上でのRTPの稼働率と温度制御は選択肢ではなく必須である。ランプがドリフトしたり、ヒーターが均一性を維持できなければ、すぐに結果に現れる。例えば、フォトレジストのソフトベークが規格を外す、ハードベークで線幅が変動する、あるいはパッケージのキュアでボイドが閉じ込められるなどだ。熱予算...