オックスフォード・インストルメンツのヒーター素子

現場では、温度というのは単なる設定値ではありません。それは、シフトがあるたびに感じられるプロセス上の要素なのです。ソフトベイクやハードベイク時に半度程度の誤差が生じるだけで、CDの位置が変わったり、レジストの形状が乱れたりして、結果として歩留まりが規格から外れてしまいます。オックスフォード・インス...