機械の壁を加熱するのはやめて、ウェーハを加熱しましょう
半導体製造装置の壁がどれほど高温になるか、気づいたことはありますか？これは非常によくある問題です。一般的な加熱方式では、エネルギーがあらゆる方向に放出されるため、実際にウェーハを加熱する代わりに、装置自体のケースが過度に加熱されてしまいます。これは無駄なエネルギーの消費です。
だからこそ、私たちは指向性赤外線加熱を利用します。
実際の動作原理
これは、電球と懐中電灯の違いに似ています。指向性赤外線ランプは、熱をあちこちに放出するのではなく、光を特定の方向に集中させます。角度を調整することで、エネルギーを必要な場所に正確に送り込むことができます。
その結果、高価な装置が無駄に熱を吸収することはありません。ワークピースに必要な温度が得られ、装置のケースも冷たい状態を保つことができます。
安全性と電気代
壁が高温にならないため、誰もが安心して作業できます。技術者も、火傷の心配をせずにメンテナンスや点検を行えます。
さらに、金銭的な面でもメリットがあります。不要に高温になる金属フレームを加熱するための費用が節約できます。
ただし、注意すべき点があります。エネルギーを一点に集中させるため、焦点部分の温度は非常に高くなります。もし基板が繊細なものであれば、ランプの距離やパルス頻度を調整する必要があります。偶発的に熱点ができないように注意しましょう。
設置方法
これらのランプは、簡単に交換できるように設計されています。装置全体を解体したり、レイアウトを変更したりする必要はありません。
しかし、重要なのは「位置合わせ」です。ランプが数度だけずれても、その熱が再び壁に伝わってしまいます。安定した状態を維持するためには、正確なPIDコントローラーを使用しましょう。そうすれば、心配する必要はありません。