노출 후 베이킹(PEB) 히터

리소그래피 공정에서 PEB 온도의 변동은 경고등으로 표시되지 않습니다. 대신, 웨이퍼의 선광폭이 변하거나, 조사량이 줄어들며, 결과적으로 폐기해야 하는 웨이퍼가 생깁니다. 이러한 문제들을 해결하기 위해 우리는 포스트-에кспози션 베이크 히터를 개발했습니다. 포토레...