RTP 히터 램프 교체 방법

공정 현장에서는 RTP 가동 시간과 온도 제어가 선택 사항이 아니다. 램프가 편차를 보이거나 히터가 균일성을 유지하지 못하면 즉시 결과가 나타난다—사양을 벗어난 포토레지스트 소프트 베이크, 라인 폭이 변하는 하드 베이크, 또는 기포가 갇히는 패키지 큐어 등. 열 예산...