연료 전지 촉매 건조 램프
라인에서 촉매층은 오차 없이 건조되어야 합니다. 덜 구워지면 용매를 가두어 델라미네이션이 발생하고, 과도하게 구워지면 활성 표면적이 소실됩니다. 어느 쪽이든 재료가 소모되고 셀을 폐기하게 됩니다. 우리는 이러한 현실에서 작동하도록 연료전지 촉매 건조 램프를 설계했습니...
태양광 셀 웨이퍼 건조 램프
공정 현장에서 젖은 웨이퍼는 감당할 수 없는 부담입니다. 남은 수분은 노출 후 패턴 붕괴를 초래하며, 배이크 프로파일이 조금이라도 어긋나면 중요한 치수가 변동됩니다. 그래서 태양 전지 웨이퍼 건조 램프가 존재하는 이유는 웨이퍼 건조, 포토레지스트 소프트 베이크 및 하...