글로브박스 적외선 히터 요소

IR 램프가 웨이퍼를 망가뜨리는 것을 막으세요. 고부하의 글로브박스를 사용한다면, 그 끔찍한 상황을 잘 알고 계실 것입니다. IR 램프가 고장나면, 단순히 가동 중단만이 문제가 아닙니다. 석영 조각들과 미세한 입자들이 웨이퍼 위로 떨어지게 됩니다. 이는 정말 큰 재앙...