포토레지스트 박리 지원 히터

Role 리소그래피 플로어에서는 스트리핑 챔버가 온도 변동에 대해 한 치의 여유도 주지 않는다. 웨이퍼 전면에서 0.5°C의 온도 편차가 발생하면 얇은 포토레지스트 잔류층이 남고, 미세 스컴이 발생하며, 입자 수가 증가한다. 바로 이 지점에서 포토레지스트 스트리핑 서...