칩 상의 실험용 건조 히터

생산 현장에서는 열 변동이 은밀하게 제품의 품질을 저하시키는 원인이 됩니다. 포토레지스트를 소프트 베이크할 때 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 치명적인 결함이 발생할 수 있습니다. 클리닝 과정에서 온도가 균일하지 않다면, 그로 인해 물 자국이 생겨 나중에 결함으로...