화학 공장에서 부품을 건조할 때는 마치 불과 싸우는 것과 같습니다. 주변에는 휘발성이 강한 청소제들이 널려 있기 때문입니다. 이러한 환경에서는 아주 작은 스파크나 뜨거운 표면이 잘못된 곳에 닿기만 해도 업무가 재앙으로 변할 수 있습니다. 그래서 우리는 단순히 램프를...

기계의 벽을 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼를 직접 가열해 보세요. 반도체 처리 장비의 벽면이 얼마나 뜨거워질 수 있는지 아시나요? 이는 매우 흔한 문제입니다. 대부분의 가열 방식은 에너지를 사방으로 방출하기 때문에, 실제로 웨이퍼를 가열하는 대신 기계의 섀시를 뜨겁...

휘발성 화학물질이 있는 곳에서 웨이퍼를 가열할 때 안전을 유지하는 방법 솔직히 말해서, 화학 세척 라인에서 웨이퍼를 가열하는 것은 매우 위험한 작업입니다. 주변에는 인화성, 폭발성이 있는 증기들이 있고, 가열 장비도 바로 그 중심에 위치해 있습니다. 일반적인 적외선...

Role 공장 현장에서 건조에 사용하는 와트는 공정 마진에 쓸 수 없는 와트입니다. 기존 오븐과 핫플레이트는 리소그래피가 실제로 필요로 하는 ±0.1°C 균일도를 맞추기 위해 열 예산을 자주 초과하며 에너지를 낭비합니다. 빠르고 깨끗하며 반복 가능한 건조가 필요하지만...