기계의 벽을 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼를 직접 가열해 보세요.
반도체 처리 장비의 벽면이 얼마나 뜨거워질 수 있는지 아시나요? 이는 매우 흔한 문제입니다. 대부분의 가열 방식은 에너지를 사방으로 방출하기 때문에, 실제로 웨이퍼를 가열하는 대신 기계의 섀시를 뜨겁게 만듭니다. 이는 큰 낭비입니다.
그래서 우리는 방향성 적외선 가열 방식을 사용합니다.
작동 원리
전구와 손전등의 차이를 생각해보세요. 방향성 적외선 램프는 열을 사방으로 퍼뜨리는 대신, 그 열을 특정 지점으로 집중시킵니다. 우리는 각도를 조절하여 에너지가 정확히 필요한 곳으로 가도록 합니다.
그 결과, 비싼 장비들이 불필요한 열을 흡수하는 ‘거대한 스펀지’처럼 작동하지 않습니다. 원하는 온도를 웨이퍼에 제공할 수 있으며, 기계의 외부는 차갑게 유지됩니다.
안전성과 전기 요금
벽면이 뜨거워지지 않으면 모든 사람이 더 편안하게 일할 수 있습니다. 기술자들도 화상을 입을 걱정 없이 정비나 점검을 할 수 있습니다.
게다가, 불필요하게 뜨거워질 필요가 없는 금속 프레임을 가열하는 데 드는 비용도 절약됩니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 에너지를 한 점으로 집중시키기 때문에, 그 점의 온도가 매우 높아집니다. 만약 작업물이 섬세하다면, 램프와의 거리나 펄스 주파수를 조절해야 합니다. 그렇지 않으면 의도치 않게 과열된 부분이 생길 수 있습니다.
설치 방법
이 램프들은 간단하게 교체할 수 있도록 설계되었습니다. 장비 전체를 분해하거나 배치를 변경할 필요는 없습니다.
하지만 중요한 것은 정확한 정렬입니다. 램프가 몇 도만이라도 틀어지면, 그 열이 다시 벽면으로 퍼집니다. 안정적인 상태를 유지하기 위해서는 정밀한 PID 컨트롤러를 사용해야 합니다. 이를 통해 문제를 걱정할 필요가 없습니다.