공정 건조 시 에너지 절감
Role 공장 현장에서 건조에 사용하는 와트는 공정 마진에 쓸 수 없는 와트입니다. 기존 오븐과 핫플레이트는 리소그래피가 실제로 필요로 하는 ±0.1°C 균일도를 맞추기 위해 열 예산을 자주 초과하며 에너지를 낭비합니다. 빠르고 깨끗하며 반복 가능한 건조가 필요하지만...
팹용 적외선 히팅 모듈
제조 현장에서 온도는 단순한 파라미터가 아니다. 온도 자체가 공정이다.
베이크 온도 편차는 포토레지스트 흐름을 이동시키고 치명적 치수(CD)를 변화시킨다. 웨이퍼 건조 중 발생하는 핫스팟은 미세한 스킨을 형성하여 표면을 입자 포집 구역으로 만든다. 패키징 공정에서는...