에너지 절약형 반도체 히팅

기계의 벽을 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼를 직접 가열해 보세요. 반도체 처리 장비의 벽면이 얼마나 뜨거워질 수 있는지 아시나요? 이는 매우 흔한 문제입니다. 대부분의 가열 방식은 에너지를 사방으로 방출하기 때문에, 실제로 웨이퍼를 가열하는 대신 기계의 섀시를 뜨겁...