
Melindungi Keselamatan Semasa Memanaskan Wafer di Sekitar Bahan Kimia Yang Mudah Terbakar
Sejujurnya, memanaskan wafer dalam proses pembersihan menggunakan bahan kimia merupakan tugas yang sangat berisiko. Terdapat wap-wap mudah terbakar dan meletup di sekelilingnya, dan peralatan pemanasan pula berada tepat di tengah-tengah kawasan tersebut.
Lampu inframerah biasa tidak sesuai untuk tujuan ini. Sebuah percikan kecil atau permukaan yang panas yang bersentuhan dengan wap kimia boleh menyebabkan bencana. Kami telah menghabiskan banyak masa untuk mencari cara untuk mencegah hal ini daripada berlaku. Semuanya bergantung pada cara kita menyegel peralatan tersebut.
Rahsianya Terletak Pada Penyegelan
Kami tidak sekadar menutup lampu tersebut dengan penutup biasa. Sebaliknya, kami memasukkan elemen inframerah tersebut ke dalam tiub kuarsa bertekstur tinggi, lalu menyegelnya dengan ketat menggunakan vakum. Ini memberikan lapisan pelindung antara filamen elektrik dan udara di sekelilingnya. Kami juga menggunakan lapisan khas yang tahan kimia pada bahagian luarnya agar wap kimia tidak dapat merosakkan struktur kuarsa tersebut. Jika anda bekerja dengan bahan kimia yang sangat korosif, kami boleh menambah lapisan khas pada bahagian luar agar kuarsa tidak rosak dari masa ke masa.
Mengimbangi Suhu dan Kestabilan
Mencapai suhu yang tepat pada wafer merupakan perkara yang sukar. Untuk mengatasinya, kami menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek. Pemancar ini dapat memanaskan permukaan wafer dengan cepat, sehingga bahagian lain yang terlibat dalam proses pembersihan tidak akan terlalu panas. Dengan cara ini, suhu dapat dikawal dengan lebih baik.
Namun, ada kelemahannya. Kepadatan tenaga yang tinggi ini menyebabkan lampu menjadi sangat panas. Anda perlu memastikan bahawa badan lampu mempunyai aliran udara yang cukup atau menggunakan penyerap haba yang efektif. Jika tidak, badan lampu boleh rosak akibat beban yang berlebihan.
Menggunakannya dalam Keadaan Sebenar
Kami merancang pemanas ini agar boleh digunakan sebagai pengganti yang mudah. Anda tidak perlu membina semula keseluruhan sistem untuk menggunakannya. Kami juga menggunakan saluran kabel yang tahan letupan, agar risiko arus elektrik berlebihan dapat dielakkan. Namun, disebabkan oleh penyegelan yang ketat, lampu ini memerlukan beberapa saat lebih lama untuk mencapai suhu maksimum berbanding lampu biasa. Ini merupakan kompromi yang perlu diterima. Keselamatan adalah perkara yang tidak boleh diabaikan apabila berhadapan dengan bahan kimia yang mudah terbakar.
Cukup pasangkan lampu ini dengan pengawal PID yang telah dikalibrasi, dan anda dapat mengawal suhu dalam lingkungan +/- 1°C. Sangat mudah.