On the line, lapisan pemangkin memerlukan pengeringan yang tidak membenarkan sebarang tekaan. Jika kurang masak, pelarut terperangkap dan anda akan mengalami delaminasi. Jika terlebih masak, anda membakar kawasan permukaan aktif. Kedua-duanya menyebabkan bahan terbakar dan sel disingkirkan. Kami membina lampu pengering pemangkin sel bahan api untuk beroperasi dalam keadaan tersebut—kawalan suhu dan kebersihan mengikut piawaian semikonduktor.
Apa yang penting di sebalik tabir
Kami menggunakan pemancar IR gelombang pendek dengan optik kuarsa supaya haba cepat sampai dan bersifat spektral terpilih. Ia menembusi filem pemangkin tanpa melecurkan substrat. Sepanjang zon aktif, keseragaman peringkat wafer dikekalkan pada ±0.1°C, jadi setiap batch mendapat bajet terma yang sama. Kepala lampu sesuai untuk bilik bersih dari Kelas 1 hingga Kelas 100, dan tidak menghasilkan zarah apabila beroperasi.
Output kekal stabil dalam lingkungan 0.1%, dan ketulenan boleh dijejak ke setpoint yang dikalibrasi—carta SPC yang boleh diterima dalam audit. Ia menggunakan pengambilan udara terarah untuk aliran tinggi, dan anda boleh padankan profil terma kepada lengkung pelarut keluar untuk dakwat pemangkin yang digunakan.
Mengapa ia relevan dalam pembuatan sel bahan api
Langkah pengeringan menetapkan kadar bagi proses salutan, deposisi pemangkin, dan semua proses seterusnya. Lampu ini memendekkan segmen terma tanpa merosakkan integriti filem, jadi masa kitaran berkurangan manakala dimensi kritikal dikekalkan. Profil bersih mengekalkan bilangan zarah stabil, yang melindungi hasil dan memastikan peralatan beroperasi.
Disiplin terma ini juga berasal dari kerja photoresist. Soft bake dan hard bake berkelakuan dengan konsisten, dan tetingkap proses menjadi lebih luas. Ini menghasilkan muatan pemangkin yang konsisten, kerja semula yang kurang, dan penggunaan tenaga lebih rendah setiap bahagian.
Apa yang perlu dirancang
Lampu ini boleh dipasang terus pada trek salutan-pengering yang sedia ada, tetapi memerlukan bekalan kuasa berdedikasi yang stabil dan padanan yang disahkan kepada beban suhu lapisan substrat anda. Anda perlu mengesahkan profil lampu bagi setiap formulasi dakwat—titik nyalaan pelarut dan ketebalan filem mengubah lengkung suhu-masa yang betul.
Setelah disahkan, sistem beroperasi 24/7 dengan penyelenggaraan minimum. Komponen kuarsa perlu diperiksa secara berkala, terutama dalam persekitaran berkelembapan tinggi.