Houden van alles veilig tijdens het verwarmen van wafers in de buurt van vluchtige chemicaliën
Laten we eerlijk zijn: het verwarmen van wafers in een chemische reinigingslijn is een stressvolle taak. Er zijn brandbare en explosieve dampen in de lucht, en de verwarmingsapparatuur bevindt zich middenin die dampen.
Standaard infraroodlampen zijn helemaal niet geschikt voor dit doel. Eén kleine vonk of een hete oppervlakte die in contact komt met chemische dampen, kan tot een grote ramp leiden. We hebben veel tijd besteed aan het bedenken van manieren om dit te voorkomen. Het komt allemaal neer op het goed afsluiten van de componenten.
Het geheim zit in het afsluitmechanisme
We sluiten de lamp niet zomaar af met een deksel. In plaats daarvan stoppen we de infraroodelementen in hoogzuivere kwartsbuizen en sluiten deze goed af met vacuüm. Dit fungeert als een soort fysieke barrière tussen de elektrische elementen en de lucht eromheen. We gebruiken deze speciale glas-metalen afsluitingen op de contactpunten, zodat de schadelijke chemische dampen niet in het apparaat kunnen dringen. En als je werkt met zeer corrosieve stoffen? Dan kunnen we chemisch resistente coatings op de buitenkant van het apparaat aanbrengen, zodat het kwarts niet langzaam wordt aangetast.
Het evenwicht tussen warmte en stabiliteit
Het bereiken van de juiste temperatuur op de wafer is moeilijk. Om dit te bereiken, gebruiken we korte golflengte-infraroodemissoren. Deze dringen snel door tot in het oppervlak van de wafer, zodat de rest van het chemische bad niet per ongeluk wordt oververhit. Hierdoor krijg je een veel preciezere en voorspelbare temperatuur.
Er is echter één nadeel: deze energiedichtheid zorgt ervoor dat de lamp erg heet wordt. Je moet ervoor zorgen dat het systeem voldoende luchtcirculatie heeft of dat er een goede koeling is. Anders riskeer je dat het apparaat onder zware belastingen vervormt.
Het in praktijk brengen
We hebben deze heaters zo ontworpen dat ze direct als vervanging kunnen worden gebruikt. Je hoeft je hele systeem niet opnieuw op te bouwen om ze te gebruiken. We leiden de bedrading via explosieveiligheidssystemen, waardoor het risico op elektrische storingen wordt verminderd. Door de afsluiting duurt het echter iets langer voordat de lamp de maximale temperatuur bereikt. Het is een compromis, maar het is een compromis dat moet worden gemaakt. Veiligheid staat voorop wanneer je te maken hebt met vluchtige oplosmiddelen.
Gebruik gewoon een gekalibreerde PID-regelaar, dan kun je de temperatuur binnen een gebied van +/- 1°C houden. Simpel.