ในกระบวนการผลิตที่มีขนาด 300 มม. การทำให้กาวแห้งไม่ใช่เพียงขั้นตอนทางความร้อนธรรมดาๆ เท่านั้น แต่ยังเป็นข้อจำกัดด้านมิติอีกด้วย หากมีความคลาดเคลื่อนเพียงเล็กน้อย โครงสร้างของฟิล์มโฟโตรีซิสต์ก็จะเปลี่ยนไป ทำให้การวางตำแหน่งของฟิล์มผิดเพี้ยน และส่งผลให้คุณภาพของชิ้นส่วนลดลง ก่อนที่ฟิล์มโฟโตรีซิสต์จะสัมผัสกับวงจรร้อนเสียอีก นั่นคือเหตุผลที่เราหันมาใช้แสงอินฟราเรดในการทำให้กาวแห้ง เพื่อลดความผันผวนในกระบวนการ
สิ่งที่สำคัญจริงๆ
เราใช้แสงอินฟราเรดเพื่อให้ความร้อนแก่ชั้นกาวและชั้นโฟโตรีซิสต์อย่างรวดเร็ว ผลลัพธ์ที่ได้คืออุณหภูมิของวงจรร้อนมีความสม่ำเสมอภายในช่วง ±0.1°C โดยวัดที่จุดติดต่อระหว่างฟิล์มกับวงจรร้อน ไม่ใช่ที่พื้นผิวของเครื่องทำความร้อน เครื่องมือนี้ถูกใช้งานในห้องปลอดฝุ่น โดยมีการควบคุมอุณหภูมิอย่างเข้มงวด และไม่มีการสร้างฝุ่นเลย นอกจากนี้ เครื่องมือนี้ยังสามารถทำงานได้อย่างสม่ำเสมอตลอด 24/7 โดยไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด
ทำไมถึงเหมาะกับกระบวนการ
ในกระบวนการลิโธกราฟีและการเชื่อมต่อวงจร คุณต้องการความร้อนในจุดที่สำคัญ นั่นคือบนฟิล์ม ไม่ใช่บนวัสดุที่ใช้รองรับวงจร แสงอินฟราเรดสามารถส่งพลังงานไปยังจุดที่ต้องการได้ทันที ซึ่งช่วยลดเวลาในการทำงาน โดยไม่ส่งผลเสียต่อมิติของวงจร ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิช่วยให้วงจรมีคุณภาพตามมาตรฐาน และลดขยะจากการผลิต นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะความร้อนถูกดูดซับโดยตรง ไม่ใช่ถูกปล่อยออกมาในห้องปฏิบัติการ และความสามารถในการทำงานซ้ำๆ ก็ช่วยให้การควบคุมมีความแม่นยำมากขึ้น และลดการทำงานใหม่ลงอย่างมาก
ความเป็นจริงในการใช้งาน
แสงอินฟราเรดต้องการมุมมองที่ตรงกับวงจรร้อน และต้องมีการควบคุมค่าการแผ่รังสีบนด้านหลังของวงจรร้อนด้วย หากวัสดุที่ใช้รองรับวงจรมีคุณสมบัติสะท้อนแสงหรือมีพื้นผิวที่ไม่เรียบ ก็จะทำให้พลังงานกระจัดกระจาย และส่งผลให้โครงสร้างของวงจรเปลี่ยนไป ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีเวลาในการปรับโครงสร้างของวงจรให้เหมาะสมกับกาวและวัสดุที่ใช้รองรับวงจร 一旦ปรับได้แล้ว กระบวนการก็จะมีความสม่ำเสมอมากขึ้น และไม่มีความผันผวนทางความร้อนอีกต่อไป