บนพื้นที่โรงงาน การแกว่งเพียงครึ่งองศาในระหว่างการอบ photoresist ก็เพียงพอที่จะทำให้ความกว้างของเส้นเพี้ยนและต้องทิ้งชิ้นงานจำนวนมาก...

บนพื้นโรง งาน uptime ของ RTP และการควบคุมอุณหภูมิไม่ใช่เรื่องเลือกทำ ถ้าแสงไฟเลื่อนหรือฮีตเตอร์ไม่สามารถรักษาความสม่ำเสมอได้ คุณจะเห็นผลทันที—การอบ...