บนพื้นที่โรงงาน การแกว่งเพียงครึ่งองศาในระหว่างการอบ photoresist ก็เพียงพอที่จะทำให้ความกว้างของเส้นเพี้ยนและต้องทิ้งชิ้นงานจำนวนมาก การไม่ยอมให้เกิดการลัดวงจรเลยไม่ใช่แค่คำขวัญ แต่เป็นวินัยประจำวันที่ทำให้ผลผลิตอยู่ในระดับสูงกว่า 90%
สิ่งที่สำคัญในเชิงเทคนิค
เราใช้หลอดไฟ RTP ที่ออกแบบมาสำหรับการประมวลผลความร้อนอย่างรวดเร็ว โดยใช้หลอดฮาโลเจนคลื่นสั้นในชุดประกอบควอตซ์ หลอดไฟเหล่านี้เร่งความร้อนได้อย่างรวดเร็วและรักษาความสม่ำเสมอระดับเวเฟอร์ที่ ±0.1°C ตลอดการยิง ฮาร์ดแวร์ถูกออกแบบให้พร้อมใช้งานในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 ปิดผนึกมิดชิดและใช้วัสดุที่มีการระเหยต่ำเพื่อควบคุมการเกิดฝุ่นละอองได้อย่างมีประสิทธิภาพ โปรไฟล์การอบแบบ soft bake และ hard bake ทำซ้ำได้ภายใต้งบประมาณความร้อนที่เข้มงวด และกำลังไฟของหลอดไฟคงที่ตลอดการใช้งานกว่า 5,000 ชั่วโมงโดยลดลงไม่เกิน 5%
ในเซลล์ลิโทกราฟฟีและการผสานการทำงานของเครื่อง track ต้องใช้ความร้อนที่ถึงค่า setpoint ตามเวลาที่กำหนดและคงที่ตลอดเวลา ความสม่ำเสมอนี้ช่วยรักษาการควบคุม CD และการวางซ้อนให้อยู่ในสเปค ผลลัพธ์คือจำนวนงานแก้ไขซ้ำลดลงของเสียลดลง และระยะเวลาการทำงานที่เชื่อถือได้
เรายังควบคุมการใช้พลังงานอย่างเข้มงวดโดยไม่ให้เกิดการเกินค่า และอายุหลอดไฟที่ยาวนานช่วยลดความถี่ในการเปลี่ยนหลอด ซึ่งช่วยลดสต็อกอะไหล่และเวลาในการบำรุงรักษา
รายละเอียดเชิงปฏิบัติ
หลอดไฟเหล่านี้สามารถใช้งานกับแพลตฟอร์ม RTP มาตรฐานที่จัดหาโดย Alibaba ได้ แต่ต้องตั้งค่าความตรงของแรงดันไฟฟ้าและการเชื่อมต่อให้ถูกต้องอย่างแม่นยำ มิฉะนั้นอาจเกิดจุดร้อนและการลัดวงจรได้ การกำหนดค่าฐานแบบกำหนดเองและชุดปรับเทียบที่เหมาะสมมักมีระยะเวลารอ 2–4 สัปดาห์
ควรวางแผนติดตั้งในช่วงเวลาการบำรุงรักษาป้องกันที่กำหนดไว้ ช่วงเวลาการประมวลผลมีความแคบ และเมื่อโปรไฟล์การอบถูกล็อกไว้ การเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิใดๆ จะปรากฏในรูปแบบข้อบกพร่องต่อเวเฟอร์ทันที