
ในห้องปฏิบัติการที่ใช้เทคโนโลยีลิโธกราฟีนั้น ความผันผวนของอุณหภูมิ PEB จะไม่แสดงออกมาในรูปของไฟเตือน แต่จะแสดงออกมาในรูปของความกว้างของเส้นที่เปลี่ยนแปลงไป รวมถึงปริมาณพลังงานที่ใช้ที่ลดลง และสินค้าที่เสียหายซึ่งจะถูกค้นพบก็ต่อเมื่อผ่านการผลิตไปแล้วเท่านั้น เราจึงสร้างเครื่องทำความร้อนหลังการถ่ายภาพขึ้นมา เพื่อขจัดความไม่แน่นอนเหล่านี้ เพราะสารเคมีที่ใช้ในการถ่ายภาพจะไม่ยอมให้มีความผันผวนของอุณหภูมิเลย
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
เราใช้คลื่นอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น โดยใช้หลักการของควอตซ์-ฮาโลเจน ทำให้ความร้อนสามารถถูกส่งตรงไปยังวีเวอร์ได้โดยตรง ทำให้มีความเฉื่อยทางความร้อนน้อยลง และสามารถปรับอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนวีเวอร์อยู่ที่ ±0.1°C และความเสถียรของอุณหภูมิก็อยู่ในระดับที่ดีมาก ทำให้ขนาดสำคัญต่างๆ ไม่เปลี่ยนแปลงไปมากนัก
อุปกรณ์นี้เหมาะสำหรับห้องปฏิบัติการระดับ Class 1–100 โดยวัสดุและอุปกรณ์ปิดผนึกต่างๆ ถูกเลือกมาเพื่อให้ไม่มีการสร้างอนุภาคใดๆ เกิดขึ้น และให้ก๊าซที่เกิดขึ้นอยู่ภายใต้การควบคุม ในกระบวนการผลิต อุปกรณ์นี้จำเป็นต้องทำงานต่อเนื่อง 24/7 โดยไม่มีเวลาหยุดทำงานเลย แม้ว่าตารางการผลิตจะไม่อนุญาตให้มีการหยุดทำงานก็ตาม
เหตุผลที่อุปกรณ์นี้มีประสิทธิภาพ
ในกระบวนการถ่ายภาพด้วยสารเคมีนั้น ขั้นตอน PEB มีบทบาทสำคัญในการเพิ่มปริมาณสารเคมีที่ใช้ในการถ่ายภาพ อุปกรณ์นี้ช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ไม่ว่าจะเป็นการอบแบบอ่อน การอบแบบ PEB หรือการอบแบบแข็งก็ตาม
สิ่งที่ได้รับคือการควบคุมขนาดสำคัญต่างๆ ได้อย่างดีขึ้น ลดจำนวนวีเวอร์ที่ต้องทำใหม่ และยังช่วยให้ได้ผลผลิตที่มีคุณภาพสม่ำเสมอ การใช้พลังงานก็ลดลงเนื่องจากการถ่ายโอนความร้อนที่มีประสิทธิภาพ และการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำ นอกจากนี้ ระยะเวลาการบำรุงรักษาก็ยาวนานขึ้น เนื่องจากอุปกรณ์มีความทนทาน และการออกแบบด้านความร้อนก็มีประสิทธิภาพดี
สิ่งที่ควรคำนึงถึง
การติดตั้งอุปกรณ์นี้ทำได้ง่าย แต่ก็ยังจำเป็นต้องให้ความสนใจกับเส้นทางการระบายก๊าซ การกำจัดก๊าซส่วนเกิน และระบบการควบคุมต่างๆ ที่มีอยู่ในเครื่องจักร ควรตรวจสอบให้แน่ใจว่าตัวควบคุมที่มีอยู่สามารถตอบสนองต่ออุปกรณ์นี้ได้ทันเวลา หากวงจร PID มีความช้าเกินไป ก็จะไม่สามารถใช้ประโยชน์จากความเร็วในการควบคุมอุณหภูมิได้อย่างเต็มที่
ควรทดลองใช้อุปกรณ์นี้กับชุดตัวอย่างขนาดเล็กก่อน เพื่อเปรียบเทียบข้อมูลอุณหภูมิกับข้อมูลความกว้างของเส้น จากนั้นจึงกำหนดค่าการตั้งค่าต่างๆ ให้แน่นอน