Uçucu kimyasalların bulunduğu ortamlarda waferleri ısıtırken güvenliği sağlamak
Dürüst olalım: Kimyasal temizleme işlemleri sırasında waferleri ısıtmak oldukça zorlu bir iştir. Etrafta yanıcı ve patlayıcı buharlar bulunuyor ve ısıtma ekipmanları da tam da bunların ortasında yer alıyor.
Standart kızılötesi lambalar bu tür durumlar için uygun değildir. Küçük bir kıvılcım ya da sıcak yüzeyin kimyasal buharlarla temas etmesiyle ciddi felaketler meydana gelebilir. Bunu nasıl önleyeceğimizi bulmak için çok zaman harcadık ve bu da aslında ekipmanların nasıl mühürleneceğine bağlıdır.
Sır, mühürlemede yatıyor
Lambanın üzerine sadece bir kapak koymak yeterli değil. Bunun yerine, kızılötesi elemanları yüksek saflıkta kuvars tüplerinin içine yerleştirip onları sıkıca mühürleriz. Bu sayede elektriksel filamanlar ile çevrelerindeki hava arasında fiziksel bir bariyer oluşur. Bu özel cam-metal mühürler sayesinde kötü kimyasal buharlar ekipmanın içine sızamaz. Eğer çok aşındırıcı maddelerle çalışıyorsanız, kuvarsın zamanla aşınmasını engellemek için dış kaplama üzerine kimyasal dirençli malzemeler ekleyebiliriz.
Isı ve stabilite arasında denge kurmak
Waffer üzerindeki sıcaklığı doğru seviyede tutmak oldukça zordur. Bu sorunu çözmek için kısa dalga boylu kızılötesi vericiler kullanıyoruz. Bunlar hızla waffer yüzeyine nüfuz eder; böylece kimyasal banyonun geri kalan kısmının yanmasını engelleriz. Böylece daha sabit ve tahmin edilebilir bir sıcaklık elde edilir.
Ancak bir dezavantajı var: Bu tür Enerji yoğunluğu lambanın çok ısınmasına neden olur. Bu yüzden şasinin yeterli hava akışına sahip olması veya sağlam bir soğutma sisteminin bulunması gerekiyor. Aksi takdirde ağır yük altında şasi bozulabilir.
Gerçek dünyada kullanım
Bu ısıtıcıları, mevcut sistemlere kolayca entegre edilebilecek şekilde tasarladık. Onları kullanabilmek için tüm sistemleri yeniden yapmanıza gerek yok. Kabloları patlamaya karşı dayanıklı kanallardan geçiriyoruz; böylece elektriksel arızaların riski ortadan kalkar. Mühürleme nedeniyle, normal lambalara kıyasla maksimum sıcaklığa ulaşmak birkaç saniye daha uzun sürer. Bu bir trade-off’tur, ancak uçucu çözücülerle çalışırken güvenlik her şeyden önemlidir. Sadece kalibre edilmiş bir PID kontrolörüyle birleştirirseniz, termal döngüleri +/- 1°C aralığında sabit tutabilirsiniz. Çok basit.