Üretim sürecinde, yük testleri ve foto dirençlerin ısıtılması sırasında meydana gelen termal değişiklikler, ürün verimliliğini olumsuz etkilemekle kalmaz; aynı zamanda ürünlerin kalitesini tamamen bozar. Wafer üzerindeki 0,5°C’lik bir düzensizlik, foto direnç üzerinde bir gradyan oluşturur ve bu gradyan, maruz bırakma ve geliştirme işlemlerinden sonra boyutsal hatalara dönüşür. Isıyı, kontrol edilebilen bir parametre olarak kullanmak gerekiyor; rastgele bir faktör olarak değil.
Önemli olan şeyler
Wafer yük testleri için kullandığımız ısıtma lambalarını, enerjiyi hızlı ve doğrudan aktaran, aynı zamanda spektral kontrolü sağlayan kısa dalga boylu NIR kuvars emiterleri üzerine kurduk. Böylece waferin sıcaklık uniformitesi ±0,1°C arasında sağlanıyor; yumuşak ısıtmadan sert ısıtmaya kadar tekrarlanabilir ısıtma profilleri elde ediliyor. Ayrıca sistem, düşük gaz salınımı olan malzemeler ve ısıtma noktasında hiçbir partikül oluşumunu engelleyen mekanik tasarım sayesinde Class 1–100 temiz oda koşullarına uygun şekilde çalışıyor. Sistem, 5.000 saatten fazla süre boyunca sabit bir performans gösteriyor ve yoğunlukta %5’ten az bir değişiklik oluyor; böylece her parti için termal durum tutarlı kalıyor.
Neden bu sistem sizin ihtiyaçlarınıza uygundur?
Yük testleri ve prob testlerinde, çipin gerçek termal stres profillerini görmesi gerekiyor; paketleme işlemlerinin yarattığı bozulmaların etkisi olmamalıdır. Litografi süreçlerinde ise foto dirençlerin tüm wafer boyunca eşit şekilde ısıtılması gerekiyor. Lambalarımız bu hassasiyeti sağlarken enerji tüketimini düşük tutuyor ve bakım aralıklarını uzatıyor. Böylece daha iyi kritik boyut kontrolü elde ediliyor, yeniden işleme ihtiyacı azalıyor ve planlanabilir bir çalışma süresi sağlanıyor; artık gece yarısında sıcaklık değişiklikleriyle uğraşmak zorunda kalmıyorsunuz.
Dikkat edilmesi gerekenler
Bu lambalar kompakt yapıda olsa da termal yoğunlukları oldukça yüksektir. Montaj sırasında yanındaki modüllerden uygun şekilde izolasyon sağlanmalı ve egzoz sistemi doğru şekilde kurulmalıdır; aksi takdirde yakındaki polimerler ve kablolar zarar görebilir. Lambalar standart alet montaj yerlerine rahatça yerleştirilebilir; ancak emiter ile wafer arasındaki hizalama toleransları oldukça düşüktür. Hizalamayı bir kez ayarlayın, kaydedin ve sabitleyin.