اس عمل میں، 300 ملی میٹر سائز کا ویفر بیک اسٹیشن میں داخل ہوتا ہے۔ فوٹوریزسٹ کو چند سیکنڈوں کے اندر ہی پوری سطح پر مطلوبہ درجہ حرارت تک پہنچنا ضروری ہے۔ اگر یہ وقت گزر جائے، تو سی ڈی کی کوالٹی متاثر ہو جاتی ہے۔
پس پردہ کیا اہم ہے؟
ہم نے کلین رومز کے لئے انفراریڈ ہیٹرز کو شارٹ-ویو NIR ذرائع کے ساتھ تیار کیا ہے، کیوں کہ یہاں تیز رفتار اور درست انرجی منتقلی ضروری ہے۔ کلوزڈ-لوپ فیڈبیک کی وجہ سے درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر ہی رہتا ہے۔ اس طرح ویفر کی سطح پر یکسانیت قائم رہتی ہے، اور اس کی معلومات ڈیٹا لاگ سے ہی حاصل کی جاسکتی ہیں۔
کوارٹز کی ساخت اور سیرامک بدنہ، کلاس 1–100 کے کلین رومز کے لئے مناسب ہیں؛ کیوں کہ ان سے کم گیس خارج ہوتی ہے، اور ذرات کی پیداوار بھی صفر رہتی ہے۔ پاور ڈینسٹی کو عمل کے مطابق ایڈجسٹ کیا گیا ہے، تاکہ سافٹ بیک اور ہارڈ بیک دونوں صورتوں میں درجہ حرارت مستحکم رہے۔
لیتھوگرافی اور ویفر پروسیسنگ میں اس کی اہمیت کیا ہے؟
لیتھوگرافی اور ویفر پروسیسنگ میں، بیکنگ کا مرحلہ بہت اہم ہے، کیوں کہ اس مرحلے میں بہت زیادہ حرارت استعمال ہوتی ہے۔ درست درجہ حرارت کنٹرول کی وجہ سے، لائن سے لائن تک، اور لاٹ سے لاٹ تک کی تغیرات کم ہو جاتے ہیں۔ اس سے فضول مواد کی مقدار کم ہوتی ہے، اور سی ڈی کی کوالٹی مستحکم رہتی ہے۔
ہیٹر تیزی سے مطلوبہ درجہ حرارت تک پہنچ جاتا ہے، اور اس کی حرکت بھی نہیں ہوتی، اس لئے انرجی کی کھپت کم ہوتی ہے۔ اور اس کی قابل اعتمادی 24/7 کام کرنے کے لئے مناسب ہے، اور اس کی دیکھ بھال کی ضرورت بھی کم ہے۔
اسے نصب کرنے سے پہلے کیا منصوبہ بندی کرنی ہے؟
یہ ہیٹرز موجودہ بیک اسٹیشنز میں آسانی سے فٹ ہو جاتے ہیں، لیکن آپ کو چیمبر کی حرارتی خصوصیات اور اس کی ساخت کے مطابق ہی انہیں نصب کرنا ہوگا۔ انٹرفیس کو پہلے ہی منظم کرنا ضروری ہے – خالی جگہ، الائنمنٹ، اور درجہ حرارت سینسر کی جگہ بھی اہم ہے۔
وولٹیج اور کنیکٹر کی قسم کو اپنے آلات کے مطابق منتخب کریں، اور اپنے عمل کے لئے کلین روم کی درجہ بندی کی شرائط کو بھی یقینی بنائیں۔