Bảo vệ an toàn khi nung nóng các tấm wafer trong môi trường có hóa chất dễ bay hơi
Hãy thừa nhận rằng việc nung nóng các tấm wafer trong quy trình làm sạch bằng hóa chất là một công việc đầy rủi ro. Xung quanh có rất nhiều hơi khí dễ cháy, dễ nổ, và thiết bị gia nhiệt lại nằm ngay giữa chúng.
Các loại đèn hồng ngoại thông thường không thể được sử dụng cho mục đích này. Chỉ cần một tia lửa nhỏ hoặc bề mặt nóng chạm vào hơi khí hóa học, mọi thứ sẽ trở nên tồi tệ. Chúng tôi đã dành nhiều thời gian để tìm cách ngăn chặn điều này xảy ra, và điều quan trọng nhất chính là việc đảm bảo rằng các bộ phận của thiết bị được niêm phong kỹ lưỡng.
Bí quyết nằm ở việc niêm phong
Chúng tôi không chỉ đơn giản đậy nắp lên đèn là xong. Thay vào đó, chúng tôi đặt các linh kiện hồng ngoại vào bên trong các ống thủy tinh có độ tinh khiết cao, sau đó niêm phong chúng lại một cách kỹ lưỡng. Điều này giúp tạo ra một “bức tường vật lý” ngăn cách các sợi dây điện với không khí xung quanh. Chúng tôi cũng sử dụng các lớp vật liệu chống hóa chất để bảo vệ lớp thủy tinh khỏi bị ăn mòn theo thời gian.
Cân bằng giữa nhiệt độ và độ ổn định
Việc điều chỉnh nhiệt độ sao cho phù hợp với các tấm wafer là điều khá khó khăn. Để giải quyết vấn đề này, chúng tôi sử dụng các thiết bị phát sóng hồng ngoại bước sóng ngắn. Nhờ đó, nhiệt lượng được truyền trực tiếp vào bề mặt tấm wafer, giúp tránh tình trạng quá nhiệt ở các bộ phận khác của hệ thống. Như vậy, nhiệt độ sẽ được kiểm soát tốt hơn.
Nhưng cũng có một nhược điểm: mức độ năng lượng cao này khiến đèn trở nên rất nóng. Bạn cần đảm bảo rằng thiết bị có đủ hệ thống làm mát để tránh tình trạng biến dạng do nhiệt độ cao.
Sử dụng trong thực tế
Chúng tôi thiết kế các thiết bị gia nhiệt này sao cho có thể thay thế ngay lập tức cho các thiết bị hiện có. Bạn không cần phải tái thiết toàn bộ hệ thống để sử dụng chúng.
Chúng tôi dùng các ống dẫn điện chống cháy nổ để truyền dòng điện, từ đó loại bỏ nguy cơ xảy ra sự cố điện. Tuy nhiên, do việc niêm phong kỹ lưỡng, việc đạt đến nhiệt độ tối ưu sẽ mất thêm vài giây so với các đèn thông thường. Đó là một sự hy sinh cần phải chấp nhận, vì an toàn luôn là yếu tố quan trọng khi làm việc với các hóa chất dễ bay hơi.
Chỉ cần kết hợp chúng với bộ điều khiển PID được hiệu chuẩn, bạn có thể kiểm soát nhiệt độ trong khoảng ±1°C. Rất đơn giản.